固态功率源将会是微波发生器一个新的发展趋势

随着科技的飞速发展，等离子体技术也日趋成熟，其发明和成果也广泛应用于工业生产和日常生活中。而其中的微波等离子体技术以其电子温度高、电子密度高、电离度高、工作气压范围宽、无电极污染而受到业界的认可和青睐。

等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。典型的等离子的组成是电子、离子、自由基和质子。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。而微波等离子体设备产生能量的主要来源便是微波发生器。微波发生器是为微波等离子体装置提供能量的单位，它可把电能变换为额定频率（915MHz和2.4GHz）的微波能量，并实现对微波功率的调控。

微波发生器作为微波等离子体设备的核心功能单元，它输出功率的稳定性和可靠性严重影响着微波等离子体技术的发展。

作为提供能量的部分，微波发生器需要维持等离子体设备进行长时间连续平稳运行，如微波等离子表面处理、制备大面积金刚石薄膜等。同时微波发生器的功率大小以及平稳性的高低直接决定了等离子体的多个性能，并间接影响目标物的性能及参数。

例如在进行等离子刻蚀时，若微波发生器输出功率的纹波系数过高，则会导致出现刻蚀缺陷，影响成品率；而利用MPCVD技术沉积金刚石薄膜的实验时，若在制备过程中微波能量输出功率过低的情况下，将会产生金刚石薄膜品质降低，以及制备速度降低的现象，若微波发生器在高功率工作状态下输出功率不稳定的情况下，将会使金刚石薄膜受力不均，致使外侧产生不完整的现象。